ウエーハ上に形成されたストレート金バンプの微小突起高さを高速で測定します。高精度レーザ変位計、DMA技術を駆使した先進技術を取り入れると同時に、独自のアルゴリズムにより高精度にバンプの高さを求めることが可能です。また、SD、2D同時検査に対応しています。

ウエーハ上に形成された半田バンプの高さ、直径を高速で検査するシステムです。Φ30μのマイクロバンプに対応します。